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靶材真空喷涂生产线的技术焦点及优势
2023-11-28

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我公司专注于高温难熔融质料的真空喷涂技术 ,突破技术壁垒和难题 ,自主研发出具有世界先进水平的靶材真空喷涂生产线 ,我公司生产的靶材 ,经国家有色金属及电子质料剖析测试中心检测 ,各项指标均抵达和凌驾世界高端靶材的水平;经海内多家知名镀膜企业使用 ,反应良好。我公司靶材真空喷涂生产线和靶材产品具有如下技术焦点与立异点:

一、技术焦点:

1、 我公司接纳了自主研发的超高温、大功率等离子喷涂枪 ,更为有效的融熔了高温难熔金属、陶瓷粉末质料 ,焰流速更快 ,使靶材的晶界结合更致密、晶粒更细 、孔隙更少、密度更高。

2、 靶材制备历程始终处于“真空”情况 ,区别于海内所有靶材的大气喷涂制备历程的通例技术 ,杜绝了气相杂质的爆发 ,使靶材的身分、纯度获得有效包管。

3、 在靶材热喷涂制备历程中 ,等离子枪焰流中科学配注了还原气体 ,使质料在热熔、冷却历程中具备充分的还原性 ,包管质料的物化性质不爆发改变。

4、 接纳密闭循环水冷却控制系统 ,使靶材在热喷涂历程中 ,有效控制了靶材的温度 ,喷涂完成后按设定要求梯度降温 ,释放了靶材的材质内部应力 ,消除了客户在溅射制程中的靶材开裂隐患。

二、立异点

1、 靶材密度更高、晶粒更细、漫衍更混匀、内部孔隙率更少 ,用户使用历程中消耗均匀、使用寿命同比延长、镀膜膜层越发致密。

2、 靶材纯度更纯 ,氧、氮含量更低 ,包管了靶材材质的纯粹性 ,使用户的溅射气氛越发可控 ,确保了膜层的高品质。

3、 靶材质料内部内应力更小 ,杜绝了客户在使用升温历程中 ,靶材的开裂、掉渣、污染溅射真空腔的现象。

4、 导电率更均匀、更平稳 ,使客户在溅射镀膜历程中 ,靶材放电历程越发充分 ,包管了设备电流、电压的稳定 ,杜绝了靶材中毒事故 ,镀膜膜层越发均匀致密。


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